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台湾开发成功CMOS工艺触觉传感器

那时候我还小,台湾不懂生崽是什么?只是奇怪我家猫屁股后边有半截形似老鼠的物体,懵懂的对着我妈说:妈,猫拉老鼠了。

图四、成功触觉传感压电薄膜的挠曲膨胀与挠曲收缩效应©2022SpringerNature(a-f)具有不同弯曲膨胀系数A的铁电膜(5nm厚)的模拟弯曲变形。在独立的超薄膜(几个单位晶胞厚度)中的这种相互作用,工艺在小尺度的巨大应变梯度的存在下,预计会出现更有趣的机械现象。

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台湾(c)弯曲薄膜中的理论反对称面内和面外应变分布示意图。这意味着弯曲刚度具有两种不同的状态,成功触觉传感刚性状态来自挠曲膨胀,而柔性状态来自挠曲收缩。工艺(f)平均晶格间距c与弯曲BFO和STO中应变梯度的关系。

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挠曲电效应在纳米尺度上成为一个重要的甚至是主导的效应,台湾因此有可能诱发新的物理现象,逐渐引起人们的关注。令人兴奋的是,成功触觉传感除了BFO膜的极化增强之外,研究结果还揭示了具有挠曲膨胀/收缩效应的不寻常的机械性能。

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此外,工艺作者的分析展示了由挠曲电性和压电性之间的相互作用驱动的不规则机械现象,揭示了弯曲独立钙钛矿氧化物的新物理性质。

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